據(jù)報(bào)道，日前，牛津儀器（Oxford Instruments Plasma Technology ，簡稱 “OIPT”）宣布與臺(tái)灣工業(yè)技術(shù)研究院（Taiwan’s Industrial Technology Research Institute，簡稱 “ITRI”）達(dá)成合作。牛津儀器將提供包含刻蝕與沉積的PlasmaPro100多種等離子體刻蝕系統(tǒng)，助力臺(tái)工研院的Micro LED研發(fā)項(xiàng)目。

據(jù)悉，PlasmaPro100工藝解決方案是專為支持激光、射頻、功率以及先進(jìn)發(fā)光二極管等尖端器件應(yīng)用設(shè)計(jì)的。

臺(tái)工研院自2009年起開始開發(fā)Micro LED技術(shù)，于2018年和聚積、欣興電子、錼創(chuàng)展開合作。在臺(tái)北國際電腦展上，工研院展出了一個(gè)Micro LED模塊。此外，該工研院也在研發(fā)用于AR應(yīng)用的Micro LED技術(shù)。

工研院電子與光電系統(tǒng)研究實(shí)驗(yàn)室（Electronics and Optoelectronics System Research Laboratories ）部門副主任Dr Fang評論表示，工研院與牛津儀器達(dá)成緊密合作并不僅僅是因?yàn)榕＝騼x器擁有前沿的技術(shù)。除此之外，研究院做出采購決策還有一些關(guān)鍵因素，包括牛津儀器的應(yīng)用解決方案、本土工藝支持以及其與產(chǎn)業(yè)合作伙伴共同將實(shí)驗(yàn)室發(fā)展成為生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的能力。

牛津儀器戰(zhàn)略市場營銷經(jīng)理Robert Gunn表示，牛津儀器很高興選擇了工研院作為合作伙伴，通過工研院的Micro LED研發(fā)項(xiàng)目（類似于三星The Wall所用的Micro LED）共同進(jìn)入LED下一個(gè)激動(dòng)人心的發(fā)展階段。

據(jù)介紹，許多研究機(jī)構(gòu)及初創(chuàng)公司采用了牛津儀器的工藝解決方案，工研院成為了其中的最新一員。