作為OLED面板的核心設(shè)備，在過去的十幾年里，被蘋果欽點的佳能Tokki蒸鍍機是國內(nèi)面板廠商求而不得的“寶貝”。近年來韓國廠商投資OLED減緩，京東方、維信諾等面板廠商才陸續(xù)采購到。

國內(nèi)廠商合肥欣奕華、合肥萊德表示，OLED蒸鍍機設(shè)備將于今年內(nèi)推向市場。那么，國產(chǎn)OLED蒸鍍機的問世，能否成為解決國內(nèi)面板廠商心病的“特效藥”呢?

日韓占據(jù)優(yōu)勢地位

如今，OLED面板主要供貨商集中在韓國，三星顯示和LGD分別在中小尺寸和大尺寸面板中占據(jù)優(yōu)勢地位。最主要的原因就是其掌握了OLED面板制造的關(guān)鍵設(shè)備——真空蒸鍍機，尤其是日本佳能Tokki高端真空蒸鍍機一度曾是三星顯示的獨家供應(yīng)商。蘋果公司曾宣布，蘋果不會接受沒有佳能Tokki蒸鍍機的OLED面板廠商為其供貨。也就是說，面板廠商如果手上沒有佳能Tokki蒸鍍機，連“打入”蘋果OLED供應(yīng)鏈的門票都沒有了。于是，這個極其神秘的公司暴露在公眾面前。

據(jù)悉，目前，G6世代蒸鍍設(shè)備幾乎被日本佳能Tokki壟斷，其市占率已超過90%。然而，佳能Tokki的產(chǎn)能很有限。2017年，佳能Tokki一年僅能生產(chǎn)9臺蒸鍍機，三星顯示和LGD的產(chǎn)線增建導(dǎo)致OLED蒸鍍設(shè)備幾乎被買斷，可謂“一機難求”。直到佳能Tokki擴(kuò)產(chǎn)，以及韓國面板企業(yè)也放慢了OLED生產(chǎn)線的投資步伐，京東方、維信諾、深天馬、信利等面板廠商才陸續(xù)采購到OLED蒸鍍機。截至2018年底，京東方成都6代線的綜合良品率達(dá)到70%;2019年11月，維信諾昆山5.5代線綜合良率達(dá)到90%。預(yù)計到2021年，國內(nèi)面板廠商生產(chǎn)剛性和柔性O(shè)LED面板才能與三星顯示良品率基本持平。

隨著智能手機和穿戴設(shè)備等電子產(chǎn)品需求量日益提升，帶動了作為新技術(shù)應(yīng)用的OLED屏的出貨量爆發(fā)式增長，目前OLED屏幕已經(jīng)成為高端智能手機產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)配置。根據(jù)IHS數(shù)據(jù)，2019年全球OLED顯示面板出貨量已經(jīng)突破7億片，預(yù)計到2022年，全球OLED顯示面板出貨量將突破9億片，越來越多的面板廠商加入到OLED陣營中來。

“如今，OLED蒸鍍設(shè)備市場仍處于供不應(yīng)求的狀態(tài)，尤其是國內(nèi)面板廠商對于高端蒸鍍機的需求一直難以得到滿足。”萊德裝備創(chuàng)始人兼董事長孔令杰說。

據(jù)悉，目前國內(nèi)OLED面板產(chǎn)線共22條，而按照常規(guī)的配置，一條6代線需要3～4臺蒸鍍設(shè)備。但是由于佳能Tokki產(chǎn)量不足，許多面板廠商迫于市場產(chǎn)能指標(biāo)壓力，紛紛選擇其他真空蒸鍍設(shè)備供應(yīng)商。值得一提的是，蒸鍍設(shè)備除了實力最強的佳能Tokki外，YAS、SNU、SNF 等企業(yè)皆來自日韓。而我國合肥欣奕華、合肥萊德、中山凱旋真空科技等企業(yè)也在瞄準(zhǔn)OLED蒸鍍設(shè)備市場。

水木資本執(zhí)行董事魯飛表示，OLED蒸鍍技術(shù)幾乎掌握在日、韓企業(yè)手里，這也是導(dǎo)致我國OLED產(chǎn)業(yè)大而不強的原因之一。在國家大力鼓勵科學(xué)創(chuàng)新、支持科技企業(yè)進(jìn)行技術(shù)突破的大環(huán)境下，高端裝備的發(fā)展是必然的。

“特效藥”應(yīng)多予以“臨床測試”

近日，國內(nèi)廠商合肥欣奕華宣布其G2蒸鍍設(shè)備樣機完成了進(jìn)一步調(diào)試工作;去年11月，合肥萊德也宣布攻克了OLED蒸鍍機技術(shù)。兩家企業(yè)都表示設(shè)備將于今年內(nèi)推向市場。

OLED蒸鍍機是OLED面板的“心臟”，蘋果、華為、三星、OPPO等廠商的旗艦手機的顯示屏幕都與其有關(guān)系。隨著國內(nèi)OLED產(chǎn)線的持續(xù)加碼，高端蒸鍍設(shè)備是否能得到穩(wěn)定供應(yīng)已成為各大面板廠商的一塊心病。

那么，國產(chǎn)OLED蒸鍍機的逐漸問世，能否解決國內(nèi)面板廠商的心病呢?

OLED在生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)需要前、中、后三道工藝。其中，對應(yīng)的三大核心工藝技術(shù)分別為LTPS驅(qū)動電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝。OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進(jìn)而影響產(chǎn)能的關(guān)鍵。所以，蒸鍍機直接決定OLED產(chǎn)品性能，對技術(shù)要求較高，其最大難點在于加熱源蒸鍍的穩(wěn)定性、對位系統(tǒng)的高精度性和重復(fù)性、腔體的真空和潔凈性能等。

佳能Tokki OLED蒸鍍機被人提及最多的就是精度，把OLED有機發(fā)光材料精準(zhǔn)地蒸鍍到基板上，佳能Tokki可以把誤差控制在3μm之內(nèi)。對此賽迪智庫高級分析師劉暾介紹說，設(shè)備如果良品率不高的話，會影響整條生產(chǎn)線的運作�！皣鈴S商設(shè)備配套多年，應(yīng)用相對成熟”。目前建一條OLED產(chǎn)線動輒投資幾百億元，而上游設(shè)備在OLED的整個產(chǎn)業(yè)鏈中占據(jù)的成本最大，約占OLED生產(chǎn)線成本的80%左右，其中蒸鍍設(shè)備投入占比達(dá)35%。以佳能Tokki為例，一臺售價已達(dá)1.4億美元。所以，國內(nèi)廠商在選擇設(shè)備時萬分謹(jǐn)慎。

欣奕華智能機器事業(yè)群OLED事業(yè)本部負(fù)責(zé)人曹景博在接受《中國電子報》記者采訪時透露：“目前，欣奕華的蒸鍍整機設(shè)備已經(jīng)能滿足在小尺寸OLED面板上的使用，其對位系統(tǒng)(包含G6H、G2.5、G1)的對位精度已達(dá)到國際先進(jìn)水平，部分機型甚至做到了國際領(lǐng)先，對位精度可控制在1.5um以內(nèi)。但是，產(chǎn)品的穩(wěn)定性和技術(shù)的成熟度以及產(chǎn)品的細(xì)節(jié)上，還需要進(jìn)一步打磨，接受市場更多的考驗�！�

劉暾表示，國產(chǎn)蒸鍍設(shè)備的問世是值得稱贊的，證明我們已經(jīng)完成了從0到1的創(chuàng)造過程。但一種精密設(shè)備的使用需要不斷調(diào)試和升級，OLED蒸鍍機從生產(chǎn)、導(dǎo)入到成熟的周期是非常長的。他建議，國產(chǎn)蒸鍍設(shè)備可以先導(dǎo)入到中試線、高校、科研院所以及OLED材料廠商等。

CINNO Research顯示行業(yè)首席分析師周華在接受《中國電子報》記者采訪時則表示，國內(nèi)蒸鍍設(shè)備尚處于初級起步階段，更多可能是用在實驗室設(shè)備市場。

早在兩年前，欣奕華科技集團(tuán)總經(jīng)理兼人工智能事業(yè)群CEO張彌便透露過，欣奕華OLED蒸鍍機已被兩家研發(fā)機構(gòu)和一家材料廠購買，用于研發(fā)測試。

“蒸鍍機與材料不同，它是一個長期的、穩(wěn)定的存在。面板企業(yè)與蒸鍍機企業(yè)需要共同完善生產(chǎn)環(huán)節(jié)和工藝流程。甚至在廠房設(shè)計之初，就已將蒸鍍機考慮進(jìn)去。所以，國產(chǎn)蒸鍍機要打入高世代OLED產(chǎn)線，不僅要長時間積累，升級技術(shù)，同時也要與面板廠商共同研發(fā)、磨合，未來還有很多路要走。”賽迪智庫集成電路所耿怡博士在接受采訪時強調(diào)。

“能買到有量產(chǎn)經(jīng)驗廠商的設(shè)備當(dāng)然不錯，但如果買不到，憑借企業(yè)多年的技術(shù)積累，對原理比較了解，加上多年的中試和量產(chǎn)實踐，面板廠商也可以和設(shè)備廠商一起努力，最終調(diào)試出適合自己的設(shè)備，這樣生產(chǎn)出來的產(chǎn)品反而更有競爭力�！本S信諾科技有限公司總裁張德強說。

周華認(rèn)為，國產(chǎn)設(shè)備的當(dāng)務(wù)之急除了加大研發(fā)投入外，應(yīng)盡快將設(shè)備送入面板量產(chǎn)線，在實際生產(chǎn)過程中積累經(jīng)驗，持續(xù)迭代升級。唯有研發(fā)生產(chǎn)、制造銷售、流片反饋、技術(shù)迭代這個閉環(huán)順利轉(zhuǎn)動起來，國產(chǎn)核心裝備才有成功的可能。

曹景博對于國產(chǎn)OLED蒸鍍設(shè)備的發(fā)展有著自己的想法：佳能Tokki憑借20年的研發(fā)和實踐經(jīng)驗，以穩(wěn)定的量產(chǎn)性能和成熟的技術(shù)優(yōu)勢獨占鰲頭。短期內(nèi)合肥欣奕華還不能與其比肩。但是，我們可以專注于小尺寸的蒸鍍機市場研發(fā)和大尺寸蒸鍍機核心部件技術(shù)的推廣應(yīng)用，打磨自己的技術(shù)，做好技術(shù)儲備，以備不時之需。