LED產(chǎn)業(yè)鏈MOCVD障礙并非不可逾越

　　LED產(chǎn)業(yè)從材料設(shè)備、外延片生長(zhǎng)芯片制造到封裝及應(yīng)用的整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈中，設(shè)備再一次成為制約行業(yè)發(fā)展的薄弱環(huán)節(jié)。業(yè)內(nèi)專家表示，中國(guó)LED產(chǎn)業(yè)要想健康快速發(fā)展，一定要在關(guān)鍵設(shè)備、原材料上下工夫。 上游關(guān)鍵設(shè)備還需要依靠進(jìn)口

　　·LED生產(chǎn)設(shè)備種類繁多
　　·關(guān)鍵設(shè)備幾乎完全依賴進(jìn)口

　　據(jù)介紹，在LED生產(chǎn)過(guò)程中需要很多設(shè)備，從藍(lán)寶石襯底加工用的單晶爐、多線切割、研磨拋光等設(shè)備，到MOCVD（金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積）、退火爐等設(shè)備，再到與芯片工藝相類似的設(shè)備，如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、清洗機(jī)、蒸發(fā)鍍膜等，最后到封裝用的固晶機(jī)、金絲/鋁絲球焊機(jī)、分選機(jī)等等，種類繁多。其中，MOCVD、等離子刻蝕機(jī)等技術(shù)含量很高的設(shè)備，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線全部依靠進(jìn)口。只有少數(shù)幾種設(shè)備實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化，如中電科技集團(tuán)第45所研制的單線切割機(jī)、多功能粘片機(jī)、全自動(dòng)焊線機(jī)、分光機(jī)、砂輪劃片機(jī)、激光劃切機(jī)等，都已經(jīng)在用戶生產(chǎn)線上使用。

　　中電科技集團(tuán)第48所研發(fā)中心副部長(zhǎng)胡曉宇在接受采訪時(shí)表示，受國(guó)內(nèi)設(shè)備制造業(yè)整體水平低的限制，再加上進(jìn)口設(shè)備的擠壓以及國(guó)外設(shè)備專利技術(shù)的封鎖，國(guó)產(chǎn)LED設(shè)備（其中包括一部分IC芯片制造設(shè)備）整體水平落后，基本上處于實(shí)驗(yàn)室水平，在設(shè)備產(chǎn)能、工藝水平、一致性、均勻性和可靠性方面與國(guó)際先進(jìn)水平相比還存在極大的差距。他表示，近年來(lái)國(guó)內(nèi)相關(guān)研究單位對(duì)LED生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行了一些嘗試，在技術(shù)上取得了一些突破，如單晶爐、研磨拋光機(jī)等，但大都沒有在生產(chǎn)線上使用。因此，國(guó)產(chǎn)LED設(shè)備要進(jìn)入大生產(chǎn)線還有很長(zhǎng)的路要走。

　　“LED產(chǎn)業(yè)鏈中最關(guān)鍵的上游設(shè)備，國(guó)內(nèi)完全是空白，還需要進(jìn)口，如MOCVD外延設(shè)備主要來(lái)自美國(guó)、德國(guó)和英國(guó)。在中游，生產(chǎn)芯片的設(shè)備現(xiàn)在有些企業(yè)已經(jīng)可以做了，如刻蝕機(jī)，使用的效果還可以，但同國(guó)外設(shè)備相比還有不小的差距。”晶能光電（江西）有限公司副總裁王敏說(shuō)。

　　業(yè)內(nèi)人士表示，LED設(shè)備在研制過(guò)程中大都遇到了成本問(wèn)題，設(shè)備的零部件大都選用進(jìn)口產(chǎn)品，而設(shè)備的售價(jià)卻遠(yuǎn)低于國(guó)外設(shè)備，這使得設(shè)備的利潤(rùn)率很低�！澳壳按笮偷腖ED企業(yè)都享有國(guó)家設(shè)備進(jìn)口免稅政策，這對(duì)我們自己研發(fā)設(shè)備是非常不利的�！敝须娍萍技瘓F(tuán)第45所市場(chǎng)部副主任王海明說(shuō)。

　　設(shè)備開發(fā)和工藝應(yīng)緊密結(jié)合

　　·完全克隆光伏設(shè)備做法行不通
　　·圍繞工藝開發(fā)才能適應(yīng)需求

　　國(guó)產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)在太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)鏈上發(fā)揮了很大的作用，國(guó)產(chǎn)LED設(shè)備是否也能彌補(bǔ)LED產(chǎn)業(yè)鏈中缺失的一環(huán)？胡曉宇表示，LED產(chǎn)業(yè)與太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)有許多相同點(diǎn)，但也有很大的區(qū)別，國(guó)產(chǎn)LED設(shè)備如果完全克隆光伏設(shè)備的做法肯定是行不通的。在所有的光伏設(shè)備中，并沒有哪一種設(shè)備像MOCVD一樣，在整個(gè)LED生產(chǎn)設(shè)備投資中占如此大的比重。國(guó)產(chǎn)LED設(shè)備廠商必須從MOCVD設(shè)備開始取得突破，才能逐步向前道和后道工藝設(shè)備不斷擴(kuò)展，最終實(shí)現(xiàn)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的全部設(shè)備國(guó)產(chǎn)化。

　　MOCVD設(shè)備的技術(shù)門檻很高，需要克服很多困難，投入大量的人力、物力、財(cái)力，整合各種優(yōu)勢(shì)資源，但這并非是不可逾越的。

　　中國(guó)專用設(shè)備行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)金存忠說(shuō)，LED不像光伏設(shè)備，它對(duì)技術(shù)和工藝的要求更高。目前國(guó)內(nèi)許多設(shè)備制造商力量薄弱，研發(fā)水平較低、關(guān)鍵零部件的生產(chǎn)工藝控制較差等問(wèn)題造成國(guó)產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性還達(dá)不到要求，導(dǎo)致國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)即使花大價(jià)錢也要買國(guó)外的設(shè)備。因此，國(guó)產(chǎn)設(shè)備要想在LED產(chǎn)業(yè)大發(fā)展過(guò)程中有所作為，一定要在穩(wěn)定性和一致性上做好文章。

　　王海明表示，在LED生產(chǎn)中，前道工藝需要突破MOCVD,該設(shè)備是芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，該設(shè)備長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，單臺(tái)價(jià)格在3000萬(wàn)元左右，長(zhǎng)期以來(lái)制約著我國(guó)LED芯片制造的發(fā)展；后道封裝設(shè)備中高速全自動(dòng)金線鍵合機(jī)的需求量較大，國(guó)內(nèi)還無(wú)法批量提供設(shè)備。

　　王敏表示，MOCVD不是不可逾越，國(guó)內(nèi)是能夠做出來(lái)的，但是要做到高水平比較困難，現(xiàn)階段還沒有這個(gè)能力。他強(qiáng)調(diào)，MOCVD生產(chǎn)設(shè)備可以引進(jìn)國(guó)外的技術(shù)，如果完全依靠自己研發(fā)會(huì)比較慢。

　　LED發(fā)展到今天，制約其大面積推廣的因素還是上游的裝備業(yè)的發(fā)展水平，有數(shù)據(jù)顯示，現(xiàn)在LED裝備業(yè)的折舊占了成本的1/3.因此，如果大部分LED設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，才有可能使LED生產(chǎn)成本大幅下降，讓LED走入千家萬(wàn)戶。

　　王敏表示，國(guó)產(chǎn)設(shè)備之所以沒上大生產(chǎn)線，跟國(guó)內(nèi)裝備業(yè)總體水平比較低有關(guān)系。我國(guó)裝備業(yè)基礎(chǔ)一直比較薄弱，即使現(xiàn)在LED應(yīng)用如火如荼，上游的材料和裝備仍沒受到應(yīng)有的重視，目前仍沒有很有實(shí)力的大企業(yè)對(duì)其進(jìn)行攻關(guān)。此外，國(guó)家也應(yīng)該集中財(cái)力對(duì)裝備業(yè)進(jìn)行支持，設(shè)立專項(xiàng)。同時(shí)，國(guó)家要有具體的獎(jiǎng)勵(lì)措施，鼓勵(lì)使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備�！斑�有一點(diǎn)必須強(qiáng)調(diào)，設(shè)備實(shí)際上是工藝的固化，設(shè)備企業(yè)應(yīng)該和生產(chǎn)企業(yè)聯(lián)合開發(fā)，這樣做能比較快地解決其與工藝脫節(jié)的問(wèn)題�！蓖趺粽f(shuō)。

　　事實(shí)上，專業(yè)人士早就指出，設(shè)備是工藝物化的產(chǎn)物，只有緊緊圍繞生產(chǎn)工藝開發(fā)成本低廉、穩(wěn)定性高的設(shè)備才能適應(yīng)生產(chǎn)線的需求，才能在實(shí)踐中得到提升和改進(jìn)，最終結(jié)合自己的工藝技術(shù)開發(fā)更先進(jìn)的設(shè)備。胡曉宇表示，工藝是以設(shè)備為根本和載體，而設(shè)備是以工藝為目標(biāo)，脫離工藝的設(shè)備就如同人沒有了靈魂。“我所的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備就是通過(guò)與工藝的緊密結(jié)合才發(fā)展到今天的大好局面�！彼�說(shuō)。

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