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    中國視聽網(wǎng)(bfsiu021.cn) > 行業(yè)資訊 > 視聽信息(數(shù)字告示) > 欣奕華國產(chǎn)OLED蒸鍍機讓顯示產(chǎn)業(yè)上游核心設(shè)備實現(xiàn)“自發(fā)光”
    欣奕華國產(chǎn)OLED蒸鍍機讓顯示產(chǎn)業(yè)上游核心設(shè)備實現(xiàn)“自發(fā)光”
    更新:2020-5-28 10:13:40 稿件:大視界 調(diào)整大小:【

    近日,MicroOLED、OLED照明量產(chǎn)所使用的欣奕華 G2蒸鍍設(shè)備樣機宣布完成進一步調(diào)試工作,將于今年內(nèi)推向市場,填補小尺寸OLED蒸鍍設(shè)備的國產(chǎn)化市場空白。

    OLED蒸鍍機是生產(chǎn)OLED面板的核心設(shè)備之一,無論時下火熱的華為P40、OPPO find X2、一加8,還是三星GALAXY Quantum,都與它有著脫不開的聯(lián)系。智研咨詢發(fā)布《2020-2026年中國OLED面板行業(yè)市場專項調(diào)研及投資前景分析報告》顯示,2020年OLED市場規(guī)模達(dá)到343億美元,單位出貨量增速將在2020年到達(dá)頂峰。在OLED技術(shù)借道手機市場全面爆發(fā)的背后,生產(chǎn)OLED面板的關(guān)鍵設(shè)備——OLED蒸鍍機長期被日韓企業(yè)壟斷。如何克服上游核心設(shè)備的缺失,是困擾中國顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展的痛點。
      OLED在生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)需要前、中、后三道工藝。其中,對應(yīng)的三大核心工藝技術(shù)分別為LTPS驅(qū)動電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝,OLED蒸鍍是制約OLED面板良率,進而影響產(chǎn)能的關(guān)鍵。賽迪智庫2019年10月整理公開數(shù)據(jù)顯示,截止2018年,OLED蒸鍍設(shè)備的主要生產(chǎn)商為日本佳能Tokki,市場占有率達(dá)到90%。據(jù)悉,佳能Tokki每年產(chǎn)能的90%均被三星包攬,OLED蒸鍍設(shè)備一機難求已成為了限制國內(nèi)面板廠商擴大OLED產(chǎn)能的重要原因。
      以往,三星和LG Display的產(chǎn)線增建導(dǎo)致OLED蒸鍍設(shè)備幾乎被買斷。近幾年,隨著韓國企業(yè)OLED產(chǎn)線的投資滯緩,京東方、維信諾(12.300, -0.04, -0.32%)、深天馬、信利等面板廠商才陸續(xù)采購到OLED蒸鍍機,逐步提升良品率。截至2018年底,京東方成都6代線綜合良品率達(dá)到70%;2019年11月,維信諾昆山5.5代線綜合良率達(dá)90%。預(yù)計到2021年,國內(nèi)面板廠商生產(chǎn)剛性和柔性O(shè)LED面板才能與三星良品率基本持平。可見,OLED蒸鍍機是制約行業(yè)發(fā)展的瓶頸。
      欣奕華自主研發(fā)的國產(chǎn)OLED蒸鍍機正是在這樣的背景下應(yīng)運而生!拔覈m然已成為全球OLED面板生產(chǎn)的主產(chǎn)地之一,但是上游設(shè)備企業(yè)在裝備領(lǐng)域依然集中在中低端和非關(guān)鍵設(shè)備的生產(chǎn)制造階段!毙擂热A智能機器事業(yè)群總經(jīng)理李清生說,“國內(nèi)建了很多OLED產(chǎn)線,但是OLED蒸鍍機在內(nèi)的裝備基本都依賴進口。欣奕華希望能夠抓住機遇,幫助客戶,為中國顯示產(chǎn)業(yè)做出自己的一些貢獻(xiàn)!
      事實上,核心技術(shù)的攻克并不簡單。如果說OLED蒸鍍機是OLED面板制作工藝的心臟,那么OLED蒸發(fā)源相當(dāng)于心臟的心房。OLED蒸發(fā)源根據(jù)宏觀形狀的不同可以粗略地分為點型蒸發(fā)源和線型蒸發(fā)源。為了滿足厚度均一性,點型蒸發(fā)源材料利用率不高,部分材料蒸鍍時容易出現(xiàn)clogging或噴濺;線型蒸發(fā)源由于在坩堝加熱及傳遞過程中不同位置的熱量和溫度存在差異,使得蒸發(fā)源不同位置的有機氣體分子的熱動能不一致,從而使不同位置的噴嘴噴出有機分子的蒸鍍速率不同,導(dǎo)致鍍膜的厚度均勻性差;更不要提在對玻璃基板各子像素進行鍍膜時,為了鍍膜位置的精確性,在每道工序開始前都要先對基板進行精密對位,該問題也是導(dǎo)致整個OLED面板良率不足的關(guān)鍵。。。。。這一個個問題都是欣奕華OLED蒸鍍設(shè)備研發(fā)項目團隊必須解決的。
      “核心技術(shù)得掌握在我們手中”,欣奕華智能機器事業(yè)群OLED事業(yè)本部負(fù)責(zé)人曹景博說,“我們努力的目的就是為了解決OLED蒸鍍機研發(fā)中的難題。”經(jīng)過無數(shù)個日日夜夜的研究、探索、實踐,欣奕華研發(fā)團隊最終形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系,突破OLED蒸發(fā)源、OLED對位系統(tǒng)等多項關(guān)鍵核心技術(shù)。其自主研發(fā)的OLED點型和線型蒸發(fā)源,已經(jīng)交由客戶驗證通過,成功導(dǎo)入面板龍頭企業(yè)的量產(chǎn)線。
      據(jù)了解,佳能Tokki OLED蒸鍍機被人提及最多的就是精度,把OLED有機發(fā)光材料精準(zhǔn)地蒸鍍到基板上,佳能Tokki 可以把誤差控制在3um之內(nèi)。對此,曹景博自豪地說:“欣奕華OLED蒸鍍機對位系統(tǒng)(包含G6H、G2.5、G1)的對位精度已達(dá)到國際先進水平,部分機型甚至做到了國際領(lǐng)先,對位精度可控制在1.5um以內(nèi)!
      據(jù)悉,欣奕華于2015年正式啟動了OLED蒸鍍系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項目,公司建成了3萬平米的OLED蒸鍍機研制潔凈車間,擁有各類先進研發(fā)設(shè)備和儀器20余臺套,組建了一支國際化高端人才團隊,形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系,在蒸發(fā)源、真空腔體、高精密對位、封裝、工藝控制技術(shù)等方面,相關(guān)技術(shù)水平已達(dá)到國際先進水平,正在逐步追趕國外領(lǐng)先OLED設(shè)備制造企業(yè)。
      目前,欣奕華自主開發(fā)了第一款國產(chǎn)化G1 OLED蒸鍍機(玻璃基板尺寸200*200mm),并已通過安徽省新產(chǎn)品鑒定!霸摦a(chǎn)品可根據(jù)客戶需求選擇精密對位或機械對位方式,對應(yīng)OLED器件研發(fā)與材料驗證。我們的G1 OLED蒸鍍機通過了上海某高校教育部國家重點實驗室裝備測試,于2017年交付使用。此外,浙江和上海的兩家OLED材料企業(yè)在采購了我們G1 OLED蒸鍍機后,都給予了很高的評價!辈芫安┱f。據(jù)悉,欣奕華還是國內(nèi)首家開發(fā)出G2.5(玻璃尺寸370mmx470mm)Cluster蒸鍍機和12寸AR/VR(Wafer直徑300mm)蒸鍍機的企業(yè),進一步填補了國內(nèi)自主研發(fā)可量產(chǎn)OLED蒸鍍機此種機型的空白。
      欣奕華能夠在OLED蒸鍍設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、市場化過程中得以快速發(fā)展,得益于國家層面的高度重視以及對OLED產(chǎn)業(yè)的規(guī)范化引導(dǎo)。特別是《“十二五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》中明確提出“加快推進OLED等新一代顯示技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”,一系列相關(guān)政策陸續(xù)出臺,鼓勵和支持OLED設(shè)備、工藝及材料等方面的創(chuàng)新發(fā)展。未來,欣奕華將繼續(xù)扎根泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高端裝備制造領(lǐng)域,為我國OLED面板制造企業(yè)提供國產(chǎn)化高性能的蒸鍍系統(tǒng),為提升我國顯示產(chǎn)業(yè)上游核心裝備的技術(shù)水平奮斗。

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